深冷法主要是利用这些尾气中各组分沸点的不同，在降温的过程中，高沸点物质首先液化分离出来，进而达到回收、分离的目的，同时可以得到相应的液体产品。目前获取低温的方法有很多种，在工业上常用的有： （1）、利用尾气自身的压力膨胀制冷 （2）、外加闭式制冷循环 现有适于制酸的含二氧化硫烟气，气量为13万标方/小时，二氧化硫含量按7%计，本身只有0.03~0.036MPa的压力，根据其特点，选择相应的3~4种制冷工质按一定比例混合，利用混合工质制冷以获取液态的二氧化硫，将烟气温度降低到： -75℃，烟气中残余二氧化硫1.7%，得到液体二氧化硫约20吨/小时，能耗4200kw； -87℃，烟气中残余二氧化硫0.59%，得到液体二氧化硫约24吨/小时，能耗4700kw； -95℃，烟气中残余二氧化硫0.26%，得到液体二氧化硫约25吨/小时，能耗5200kw； 获得的液态二氧化硫的市场价格可以超过0.3万元/吨，大大提升了副产品的附加值，回收了硫资源。最后剩余的残量二氧化硫可以通过吸收解析的方法加以回收制酸，调节了酸产量，又消除了环境的污染。 同样的方法也可以应用到氯气、焦炉气、矿井瓦斯气等的分离回收。