硅谐振梁式压力微传感器是一项跨世纪的关键技术。从目前国内外微传感器发展趋势看，最具特色和综合技术优势的是硅谐振式微传感器，这主要是由于：其输出为频率量，易于与计算机接口，基体材料为力学性能极佳的硅，并便于微细加工和集成，它是当今世界上水平最高、技术最先进的微传感器，硅谐振梁式压力微传感器研制成功，将为微飞行器（微卫星和微型飞机等）研制提供先进的最佳选择的传感器技术，由于这种传感器是频率量输出，易于与现场总线挂接，所以，这种传感器也非常适合于工业过程控制系统和其它精密测量的场合，微传感器的实现和应用，对许多技术领域，特别是对航空航天、遥感、医疗和工业自动化等方面的测控系统将产生影响深远的变革和革新。本传感器有广阔的军民两用前景。如机载用分布式大气数据计算机，工业上大量应用的压力变送器，以及气压计等。采用硅谐振梁式压力传感器，使产品更新换代，性能达到一个新的高度。研制、生产硅谐振梁式压力微传感器过程中所获得和积累的各种高新技术可直接应用于微陀螺和微加速度计等其他参数微传感器的研制开发。