该系统提出了虚拟MEMS加工工艺的概念，旨在利用虚拟现实技术对MEMS加工工艺进行仿真，并将虚拟加工工艺的结果引入MEMS设计过程；使得MEMS设计人员在设计阶段，就能看到加工后的结果，保证了虚拟加工的结果和实际加工结果尽可能接近。为解决MEMS设计中突出存在的“设计与加工脱节”问题提供了一个很好的辅助手段。该系统已经获得了软件版权，具有自主知识产权；与商品化MEMS设计工具有接口。 本项研究在利用虚拟现实技术实现MEMS设计方面已达到国际先进水平。